[发明专利]具有设定和锁存电极的MEMS开关

权利要求书

1.一种MEMS开关，其包括：

衬底；

至少两个支柱，其由所述衬底支撑；

可移动电极，其由所述支柱支撑在衬底上；

至少两个锁存电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间，其中，所述至少 两个锁存电极中的每一者都邻近所述可移动电极的一个或多个周界部分放置；

至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而选择性地连接；

设定电极，其邻近所述可移动电极的中央部分放置，

其中所述可移动电极经配置以基于跨越所述可移动电极与所述设定电极施加第 一电压而移动到激活位置，且经配置以基于跨越所述可移动电极与所述至少两个锁 存电极施加第二电压而实质上维持在所述激活位置，其中，所述第二电压小于所述 第一电压。

2.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述设定电极位于所述至少两个锁存电 极之间。

3.根据权利要求1所述的MEMS开关，其中所述衬底和所述可移动电极形成了部分 可伸缩的空腔，所述空腔的一部分基于所述可移动电极的所述位置是可伸缩的。

4.根据权利要求3所述的MEMS开关，其中所述开关端子由所述衬底支撑。

5.根据权利要求3所述的MEMS开关，其中当所述可移动电极定位于接近所述衬底 处时，所述开关端子是连接的。

6.一种显示系统，其包括：

MEMS显示元件阵列；

一个或多个的MEMS开关，其耦合到所述阵列，其中，所述MEMS开关中的至 少一者包括：

衬底；

至少两个支柱，其由所述衬底支撑；

可移动电极，其由所述支柱支撑在所述衬底上；

至少两个锁存电极，其由所述衬底支撑且定位于所述支柱之间，其中，所述至 少两个锁存电极中的每一者都邻近所述可移动电极的一个或多个周界部分放置；

至少两个开关端子，其取决于所述可移动电极的位置而选择性地连接；

设定电极，其邻近所述可移动电极的中央部分放置；

其中所述可移动电极经配置以基于跨越所述可移动电极与所述设定电极施加 第一电压而移动到激活位置，且经配置以基于跨越所述可移动电极与所述至少两个 锁存电极施加第二电压而实质上维持在所述激活位置，其中，所述第二电压小于所 述第一电压。

7.根据权利要求9所述的显示系统，其中所述设定电极位于所述至少两个锁存电极之 间。

8.根据权利要求6所述的显示系统，其中所述衬底和所述可移动电极形成一部分可伸 缩的空腔，所述空腔的一部分基于所述可移动电极的所述位置是可伸缩的。

9.根据权利要求8所述的显示系统，其中所述开关端子由所述衬底支撑。

10.根据权利要求8所述的显示系统，其中当所述可移动电极定位于接近所述衬底处 时，所述开关端子是连接的。

11.根据权利要求8所述的显示系统，其额外包括另一个可移动电极，其中所述衬底和 所述另一个可移动电极形成另一个部分可伸缩的空腔，所述另一个空腔的一部分基 于所述另一个可移动电极的另一个位置是可伸缩的。

12.根据权利要求6所述的显示系统，其额外包括耦合到微机电显示元件的一阵列的驱 动器电路。

13.根据权利要求12所述的显示系统，其进一步包括：

处理器，其与所述阵列电连通，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其与所述处理器电连通。

14.根据权利要求12所述的显示系统，其中所述驱动器电路经配置以将至少一个信号 发送到所述阵列。

15.根据权利要求13所述的显示系统，其进一步包括：

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。