[发明专利]光电二极管、固体拍摄装置及其制造方法有效
申请号: | 200580051461.0 | 申请日: | 2005-08-31 |
公开(公告)号: | CN101253635A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 片山雅也 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L31/10 | 分类号: | H01L31/10;H01L27/146 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张龙哺 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光电二极管,形成在硅衬底上,其特征在于,具有:受光区域,其形成在所述硅衬底表面,并由形成pn结合的第一导电型的扩散区域构成,中间区域,其以位于所述受光区域的方式形成在所述硅衬底表面,并由所述第一导电型的扩散区域构成,接触区域,其以位于所述中间区域的方式形成在所述硅衬底表面,并由所述第一导电型的扩散区域构成,密封层,其形成在所述硅衬底表面的所述中间区域外侧部分,并由第二导电型的扩散区域构成,电极,其形成在所述硅衬底表面,并与所述接触区域接触;所述密封层与构成所述中间区域的扩散区域的侧端部相对向。 | ||
搜索关键词: | 光电二极管 固体 拍摄 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光电二极管,形成在硅衬底上,其特征在于,具有:受光区域,其形成在所述硅衬底表面,并由形成pn结合的第一导电型的扩散区域构成,中间区域,其以位于所述受光区域的方式形成在所述硅衬底表面,并由所述第一导电型的扩散区域构成,接触区域,其以位于所述中间区域的方式形成在所述硅衬底表面,并由所述第一导电型的扩散区域构成,密封层,其形成在所述硅衬底表面的所述中间区域外侧部分,并由第二导电型的扩散区域构成,电极,其形成在所述硅衬底表面,并与所述接触区域接触;所述密封层与构成所述中间区域的扩散区域的侧端部相对向。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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