[发明专利]用于在高纵横比空间中进行化学气相沉积的方法

摘要

本发明披露了一种将保形膜沉积到高纵横比空间中的方法，包括在沉积之前在该空间内部形成气体前体的梯度的步骤。该梯度可以例如通过降低沉积室内的压力或通过该沉积室的部分抽空来形成。然后衬底的温度被迅速升高，从而将前体物质优先地沉积在该高纵横比空间的封闭或“深的”部分内。该过程可被重复多个循环以完全地填充该空间。该过程使得高纵横比空间被填充，而不形成任何可能对所得装置的性能具有不利影响的空隙或孔眼。

主权项

1.一种将保形膜沉积到高纵横比空间中的方法，包括：a)将具有纵横比大于10的衬底保持在低于发生沉积的阈值以下的温度；b)将所述衬底暴露在气体前体中；c)降低所述衬底周围的压力；以及d)将所述衬底的温度迅速升高到所述阈值以上。