[发明专利]线性电动机及其制造方法以及使用了该线性电动机的载物台装置无效
| 申请号： | 200580046966.8 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101103512A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 筱平大辅;臼井道太郎 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K9/19;H02K41/03 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供线性电动机及其制造方法以及使用了该线性电动机的载物台装置。线圈部(60)用盖部件(78)覆盖用铸型(树脂件)(76)将2列线圈(66)一体化了的部件。在铸型(76)的表面形成玻璃膜(80)。玻璃膜(80)为无机材料，所以具有绝缘性。并且，在盖部件(78)的内壁与玻璃膜(80)的表面的间隙中形成有供冷却水流动的冷却水流路(74)。该玻璃膜(80)通过涂敷液态玻璃形成为均匀厚度(几微米)。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 电动机 及其 制造 方法 以及 使用 载物台 装置 | ||
【主权项】：
1.一种线性电动机，其特征在于，具备：并设了多个线圈的线圈部，与上述线圈部相对地并设了多个永久磁铁的磁轭部，覆盖上述线圈部的盖部件，以及形成在上述盖部件的内侧、通过提供冷却水来冷却上述线圈部的线圈冷却部；上述线圈部在上述多个线圈的周围形成树脂件，在上述树脂件的表面形成有玻璃膜。
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