[发明专利]线性电动机及其制造方法以及使用了该线性电动机的载物台装置无效
| 申请号： | 200580046966.8 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101103512A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 筱平大辅;臼井道太郎 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H02K41/02 | 分类号： | H02K41/02;H02K9/19;H02K41/03 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性 电动机 及其 制造 方法 以及 使用 载物台 装置 | ||
1.一种线性电动机，其特征在于，
具备：
并设了多个线圈的线圈部，
与上述线圈部相对地并设了多个永久磁铁的磁轭部，
覆盖上述线圈部的盖部件，以及
形成在上述盖部件的内侧、通过提供冷却水来冷却上述线圈部的线圈冷却部；
上述线圈部在上述多个线圈的周围形成树脂件，在上述树脂件的表面形成有玻璃膜。
2.如权利要求1所述的线性电动机，其特征在于，在上述盖部件的内面形成有玻璃膜。
3.如权利要求1所述的线性电动机，其特征在于，上述线圈部在上述多个线圈的周围形成有第1玻璃膜，在上述第1玻璃膜的表面形成有树脂件，在上述树脂件的表面形成有第2玻璃膜。
4.如权利要求1所述的线性电动机，其特征在于，上述线圈部具有将从上述多个线圈引出的引线导向上述盖部件的外部的引线通道，在该引线通道的外周形成有玻璃膜。
5.如权利要求1所述的线性电动机，其特征在于，上述冷却水为纯水。
6.一种线性电动机的制造方法，其特征在于，
具有以下工序：
并设多个线圈的第1工序；
在上述多个线圈的周围形成树脂件的第2工序；
在上述树脂件的表面形成玻璃膜的第3工序；
由形成提供冷却水的冷却水流路的盖部件覆盖上述玻璃膜周围的第4工序；
将引出从上述线圈引出的引线的引线通道安装到上述盖部件的端部内侧的第5工序；以及
使具有多个永久磁铁的磁轭部与上述线圈部相对地安装上述磁轭部的第6工序。
7.一种载物台装置，其特征在于，将权利要求1所述的线性电动机用于驱动机构。
8.一种载物台装置，其特征在于，将权利要求2所述的线性电动机用于驱动机构。
9.一种载物台装置，其特征在于，将权利要求3所述的线性电动机用于驱动机构。
10.一种载物台装置，其特征在于，将权利要求4所述的线性电动机用于驱动机构。
11.一种载物台装置，其特征在于，将权利要求5所述的线性电动机用于驱动机构。
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