[发明专利]探针头阵列无效
| 申请号： | 200580045719.6 | 申请日： | 2005-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101095057A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | R·J·汉森;J·M·隆恩 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于测试半导体晶片上所形成的器件的探针头(12)包括多个探针DUT(被测器件)阵列(16)。各被测器件包括一些焊点，促使这些焊点与相对应的探针DUT阵列(16)中的探针(18、20)压接起来。探针阵列图形具有像凹入、凸出、岛和开口等不连续性，当探针(18、20)接触焊点时这些图形至少与一个器件相对。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种对半导体晶片上形成的器件进行测试的接触器，所述接触器包括用于与所述器件上形成的焊点相接触的探针阵列，所述探针阵列包括围绕着所述探针阵列中的开口而设置的多个相邻的DUT阵列，当所述探针阵列接触所述焊点时所述开口位于至少一个器件之上。
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