[发明专利]用于补偿不对称光瞳照明的滤光装置无效
| 申请号： | 200580044849.8 | 申请日： | 2005-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101088049A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 曼弗雷德·毛尔;达米安·菲奥尔卡 | 申请（专利权）人： | 卡尔·蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种滤光装置(100)，其用于包括光源的照明系统，特别是用于照明光瞳的照明的校正，照明系统被从光源传播到物平面的照明射线束穿过，该照明射线束射到包括至少一个滤光元件(105)的滤光装置(100)上，所述至少一个滤光元件可以被引入到照明射线束(5)的光束路径中，滤光元件包括致动元件(113)，从而滤光元件可以借助于致动元件而被带到照明射线束(5)内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 补偿 不对称 照明 滤光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于照明系统、特别是用于校正受照光瞳的照明的滤光装置，其中所述照明系统包括光源(4)、以及从所述光源(4)传播到物平面(10)的照明射线束(5)，其中沿光束路径通过所述照明系统传播的所述照明射线束(5)射到所述滤光装置(7)上；所述滤光装置包括：至少一个滤光元件(103)，其可以被引入到所述照明射线束(5)的所述光束路径中，其中，所述滤光元件(103)包括致动元件(113)，从而所述滤光元件(103)可以借助于所述致动元件(113)而被带到所述照明射线束(5)内的不同位置。
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