[发明专利]用于补偿不对称光瞳照明的滤光装置

权利要求书

1.一种用于照明系统、特别是用于校正受照光瞳的照明的滤光装置，其中所述照明系统包括光源(4)、以及从所述光源(4)传播到物平面(10)的照明射线束(5)，其中沿光束路径通过所述照明系统传播的所述照明射线束(5)射到所述滤光装置(7)上；

所述滤光装置包括：

至少一个滤光元件(103)，其可以被引入到所述照明射线束(5)的所述光束路径中，其中，

所述滤光元件(103)包括致动元件(113)，从而所述滤光元件(103)可以借助于所述致动元件(113)而被带到所述照明射线束(5)内的不同位置。

2.根据权利要求1所述的滤光装置，其特征在于，至少一个滤光元件(103)包括用于确定光强度的至少一个传感器。

3.根据权利要求1或2所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光装置(7)包括多个滤光元件(103)。

4.根据权利要求3所述的滤光装置，其特征在于，所述多个滤光元件(103)的至少一部分结合有致动元件(113)。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光装置(7)包括外圆周(104)，并且所述多个滤光元件(103)在所述外圆周(104)上基本上沿径向方向设置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光元件(103)设置成杆状。

7.根据权利要求6所述的滤光装置，其特征在于，用于确定所述光强度的所述至少一个传感器设置于所述滤光元件的一个端部。

8.根据权利要求7所述的滤光装置，其特征在于，用于确定照明辐射强度的多个传感器沿所述杆状滤光元件设置。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的滤光装置，其特征在于，确定所述光强度的所述传感器为功率传感器。

10.根据权利要求8所述的滤光装置，其特征在于，沿所述杆状滤光元件的所述多个传感器形成光电二极管传感器线阵或CCD线阵。

11.根据权利要求1至10中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光元件(103)的长度和宽度不同。

12.根据权利要求1至11中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光装置(7)具有圆形外圆周(104)，并且所述滤光元件具有的构造使得能沿所述径向方向朝向所述外圆周的圆的中心移动。

13.根据权利要求1至12中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光元件至少在部分区域内具有透明构造。

14.根据权利要求1至13中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光元件至少在部分区域内具有无支撑的网状结构。

15.根据权利要求1至14中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光装置以这样的方式设置，即所述滤光元件沿所述径向是可移动的。

16.根据权利要求1至15中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，所述滤光装置以这样的方式设置，即所述滤光元件可以围绕基本上径向取向的轴线转动，并且/或者可以沿轴线在轴向方向上位移。

17.根据权利要求1至16中至少一项所述的滤光装置，其特征在于，使用多于10个滤光元件，特别是多于20个滤光元件。

18.一种照明系统，其包括滤光装置，所述滤光装置包括多个滤光元件，致动元件与所述滤光元件的至少一部分相结合，以便将结合有所述致动元件的滤光元件在通过所述照明系统的照明射线束的光束路径中移动到不同位置，并且所述滤光装置设置于所述照明系统的光瞳平面内或者靠近所述光瞳平面而设置。

19.根据权利要求18所述的照明系统，其特征在于，所述滤光装置设置于相对于所述照明系统的光瞳平面的距离范围Δz内，所述距离范围的第一边界由所述光瞳平面给定，所述距离范围的第二边界由Δz_MAX给定，距离Δz_MAX以这样的方式限定，

即所述滤光元件的部分阴影在所述光束路径的所述圆周区域内恰好彼此接触。