[发明专利]用于制造无源结构的烟雾状液体的空气动力学喷射有效
| 申请号： | 200580042689.3 | 申请日： | 2005-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101142677A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | M·J·雷恩;M·埃辛;B·H·金;J·A·保尔森 | 申请（专利权）人： | 奥普美克设计公司 |
| 主分类号： | H01L23/58 | 分类号： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 涉及在物理、电性、化学、光学特性中的一个或多个中具有5％或更小偏差的无源结构的直接写入的方法和装置。本装置可以延长淀积时间。本装置可以配置为独立操作，并使用传感器和反馈环检测系统的物理特性以确定并维持最佳工艺参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 无源 结构 烟雾 液体 空气动力学 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种用于在目标上淀积包括材料的无源结构的设备，该设备包括：用于形成包括材料和载气的悬浮物的喷雾器；用于排出多余载气的排气流控制器；用于在圆柱形套管气流中混入悬浮物的淀积头；压力传感转换器；连接所述喷雾器、所述淀积头、所述排气流控制器和所述转换器的十字管接头；其中该无源结构的理想特性的误差优于约5％。
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