[发明专利]用于制造无源结构的烟雾状液体的空气动力学喷射

权利要求书

1.一种用于在目标上淀积包括材料的无源结构的设备，

该设备包括：

用于形成包括材料和载气的悬浮物的喷雾器；

用于排出多余载气的排气流控制器；

用于在圆柱形套管气流中混入悬浮物的淀积头；

压力传感转换器；

连接所述喷雾器、所述淀积头、所述排气流控制器和所述转换器的十字管接头；

其中该无源结构的理想特性的误差优于约5％。

2.如权利要求1中所述的设备，其中所述淀积头和所述喷雾器连接到十字管接头的彼此相对的进口。

3.如权利要求2中所述的设备，其中所述排气流控制器在与悬浮物移动通过所述十字管接头的方向相垂直的方向上排出多余的载气。

4.如权利要求1中所述的设备，其中所述排气流控制器降低载气的流速。

5.如权利要求1中所述的设备，其中进一步包括用于从所述转换器接收数据的处理器，所述处理器判断在所述设备中是否存在泄漏或堵塞。

6.如权利要求5中所述的设备，其中进一步包括反馈环，如果检测到堵塞，反馈环自动净化所述设备；或者如果检测到泄漏，自动停止所述设备的操作。

7.如权利要求1中所述的设备，其中进一步包括：

激光器，其激光束经过流动的悬浮物；及

光电二极管，用于检测来自所述激光器的散射光。

8.如权利要求7中所述的设备，其中所述的激光束垂直于该悬浮物流动方向，并且所述光电二极管定位为与所述激光束和所述气流方向两者都正交。

9.如权利要求7所述的设备，其中进一步包括用于自动控制该喷雾器功率的控制器。

10.一种在目标上淀积包括材料的无源结构的方法，该方法包括如下步骤：

雾化材料；

输送雾化的材料至载气中以形成悬浮物；

通过定位成垂直于悬浮物流动方向的开口，从悬浮物中移除多余载气；

监控所述悬浮物的压力；

用套管气体围绕该悬浮物；和

在目标上淀积材料；

其中无源结构的理想特性的误差优于约5％。

11.如权利要求10中的方法，其中进一步包括基于压力值判断泄漏或堵塞存在的步骤。

12.如权利要求11中的方法，其中进一步包括如果堵塞发生，自动清洁系统的步骤。

13.如权利要求11中的方法，其中进一步包括如果泄漏发生，自动停止操作的步骤。

14.如权利要求10中的方法，其中进一步包括向悬浮物中照射激光束，并测量来自激光束的散射光的步骤。

15.如权利要求10中的方法，其中通过定位成与激光束和悬浮物的流动方向两者都正交的检测器执行测量的步骤。

16.如权利要求14中的方法，其中进一步包括根据在测量步骤中检测的散射光的量，改变用于雾化步骤中功率的步骤。

17.如权利要求10中的方法，其中进一步包括处理材料的步骤。

18.如权利要求17中的方法，其中处理步骤选择湿润悬浮物、干燥悬浮物、加热悬浮物、加热淀积材料、用激光束辐射淀积材料及它们的组合所构成的组。

19.如权利要求18中的方法，其中使用激光束辐射淀积的材料确保淀积材料的线宽小至约1微米。

20.如权利要求18中的方法，其中使用激光束辐射淀积的材料并未将目标的平均温度升高至高于毁坏阈值。