[发明专利]与带电粒子接触的表面保护无效
| 申请号： | 200580039915.2 | 申请日： | 2005-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101061435A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | R·B·格兰特 | 申请（专利权）人： | 英国氧气集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张轶东;韦欣华 |
| 地址： | 英国英格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在此描述了一种保护位于腔(10)中的反射镜(20)表面的方法，该腔暴露于极远紫外线(EUV)(14)辐射，该极远紫外线是由等离子体(12)产生的，等离子体发射极远紫外线和带电粒子两者。将有机分子供给该腔，其与极远紫外线相互作用以在反射镜表面上形成碳质沉积物涂层，由该等离子体发射的带电粒子冲击该沉积物，引起该沉积物从反射镜表面溅射，通过控制沉积物在该反射面上的沉积速率和从该反射镜表面除去该沉积物的速率之中的至少一种，可主动地控制该涂层厚度以防止带电粒子直接冲击到反射镜表面上和将反射镜表面由于形成涂层而致的反射率降低减至最小，该方法也适用于保护用来透射来自该腔的极远紫外线的窗表面。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 接触 表面 保护 | ||
【主权项】：
1.一种保护表面避免由于受带电粒子冲击而被损害的方法，该方法包括以下步骤：在该表面暴露于该带电粒子期间，将碳源提供到该表面用于在该表面上形成碳质沉积物涂层，以及控制沉积物在该表面上的沉积速率和带电粒子冲击该沉积物的速率之中的至少一种，以主动地控制该涂层厚度。
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