[发明专利]具有偏移寻址电极的微镜无效
| 申请号: | 200580039268.5 | 申请日: | 2005-09-08 | 
| 公开(公告)号: | CN101167009A | 公开(公告)日: | 2008-04-23 | 
| 发明(设计)人: | 萨蒂亚德夫·帕特尔 | 申请(专利权)人: | 德州仪器公司 | 
| 主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 | 
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方;刘国伟 | 
| 地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US | 
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| 摘要: | 本发明的微镜装置包括反射式可偏转镜板和为偏转所述镜板而提供的寻址电极,其中所述寻址电极沿垂直于铰链长度的方向位移,从而使所述寻址电极的一部分扩展超出所述镜板。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 偏移 寻址 电极 | ||
【主权项】:
                1.一种微镜装置,其包括:可操作以在衬底上方旋转的镜板和用于旋转所述镜板的最多一个寻址电极,其中所述镜板和所述寻址电极经定位以使连接所述镜板的几何中心和所述寻址电极的几何中心的虚线相对于垂直于所述寻址电极的线呈5°至50°度。
            
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