[发明专利]具有偏移寻址电极的微镜

权利要求书

1.一种微镜装置，其包括：可操作以在衬底上方旋转的镜板和用于旋转所述镜板的最多一个寻址电极，其中所述镜板和所述寻址电极经定位以使连接所述镜板的几何中心和所述寻址电极的几何中心的虚线相对于垂直于所述寻址电极的线呈5°至50°度。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述电极位于当从所述镜板的项部看去时沿平行于所述镜板的边缘的方向移动的位置。

3.如权利要求1所述的装置，其中连接所述镜板和所述寻址电极的所述几何中心的所述虚线与所述寻址电极的法线具有一夹角，其中所述夹角是从10°至40°度。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述夹角是从15°至30°度。

5.如权利要求3所述的装置，其中所述夹角是从15°至25°度。

6.如权利要求3所述的装置，其中所述镜板与所述寻址电极之间的垂直距离与所述镜板的长度之比为1∶1至1∶6。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述镜板附装至铰链上，以使所述镜板可操作以进行不对称旋转。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述镜板附装到所述铰链的附装点既不在所述镜板的几何中心、也不在所述镜板的多条对角线中的至少一者上。

9.如权利要求7所述的装置，其中所述铰链平行于所述镜板的对角线但偏离所述镜板的对角线。

10.如权利要求7所述的装置，其中所述铰链偏离所述镜板的对角线但不平行于所述镜板的对角线。

11.如权利要求7所述的装置，其中所述铰链和所述镜板位于平行于所述衬底的不同平面中。

12.如权利要求7所述的装置，其中所述寻址电极相对于所述镜板发生位移，以使所述寻址电极扩展超过所述镜板。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述寻址电极沿与所述铰链垂直的方向扩展超过所述镜板上距离所述铰链最远的点。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述寻址电极的最远点与所述镜板的所述最远点之间的位移距离是1微米或更大，其中所述镜板的所述最远点是与所述铰链具有最大距离的点，且其中所述寻址电极的最远点与所述铰链具有最大距离。

15.如权利要求14所述的装置，其中所述位移距离是2微米或更大。

16.如权利要求14所述的装置，其中所述位移距离是3微米或更大。

17.如权利要求7所述的装置，其中所述位移距离对所述镜板与所述铰链之间的间隙之比为0.5或更大，其中所述位移距离是所述寻址电极的最远点与所述镜板的最远点之间的距离，其中所述镜板的所述最远点是与所述铰链具有最大距离的点，且其中所述寻址电极的最远点与所述铰链具有最大距离。

18.如权利要求17所述的装置，其中所述比是1.1或更大。

19.如权利要求17所述的装置，其中所述比是1.2或更大。

20.如权利要求17所述的装置，其中所述比是1∶2至1∶4。

21.如权利要求17所述的装置，其中所述比约为1∶3。

22.如权利要求1所述的装置，其中所述铰链和所述镜板位于平行于所述衬底的同一平面内。

23.如权利要求1所述的装置，其中所述衬底可透射可见光。

24.如权利要求9所述的装置，其中所述镜板可操作以旋转到为12°度或更大的ON状态角度。

25.如权利要求24所述的装置，其中所述镜板可操作以旋转到为-2°至-6°度的OFF状态角度。

26.一种空间光调制器，其包括：像素阵列，每个像素都包括微镜，其中每个微镜都包括可操作以在衬底上旋转的镜板、和用于旋转所述镜板的寻址电极，其中所述镜板和所述寻址电极定位成使连接所述镜板的几何中心和所述寻址电极的几何中心的虚线相对于所述寻址电极的法线呈5°～50°度。