[发明专利]用于将配线膜互连的部件及其制造方法无效
| 申请号： | 200580034829.2 | 申请日： | 2005-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101120622A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 饭岛朝雄;大平洋;岛田智和;饭岛晃史 | 申请（专利权）人： | 德塞拉互连材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/46 | 分类号： | H05K3/46 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 进一步减小了金属凸块(8)与随后沉积的用来形成配线膜的金属膜(10)之间的连接阻抗，从而提高了连接的稳定性。进一步缩短了通过金属凸块(8)的配线路径，提高了平面性，所述金属凸块(8)不易脱落。形成了配线膜互连部件，其中多个铜制柱状金属凸块(8)包埋在层间绝缘膜(10)内，使得至少一个端部凸出，所述凸块(8)的顶面横截面小于底面横截面，使多层配线板的配线膜互连。所述层间绝缘膜(10)的上表面是弯曲的，在与所述金属凸块(8)相接触的部分较高，而随着与凸块之间的距离增大，上表面的高度逐渐降低。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 将配线膜 互连 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用来使配线膜互连的部件，该部件包括层间绝缘膜和多个金属凸块，所述层间绝缘膜具有底面和与该底面相反的顶面，所述金属凸块从所述层间绝缘膜的底面延伸穿过层间绝缘膜并具有从所述顶面凸出第一高度的第一端部，所述层间绝缘膜的顶面在比所述多个金属凸块的高度低的第一高度的位置与所述多个金属凸块接触，所述层间绝缘膜从所述第一高度弯曲至所述多个金属凸块中间的较低的高度。
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