[发明专利]测试密封的微机电系统装置中的湿度的系统和方法无效
| 申请号： | 200580031982.X | 申请日： | 2005-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101052865A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 布莱恩·J·加利;洛朗·帕尔玛蒂尔;马尼什·科塔里;威廉·J·卡明斯 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一个实施例提供一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。在一个实施例中，所述装置的所述性质包含以下中的一者：i)所述装置的重量，ii)封围在所述装置中的干燥剂的变色，iii)所述装置内的电阻，iv)所述装置的由指形冷冻器装置接触的内部区域中是否形成霜，v)当将水蒸气提供到所述装置中时，封围在所述装置中的干燥剂是否适当地起作用，和vi)i)到v)中至少两者的组合。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 密封 微机 系统 装置 中的 湿度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测试湿度的方法，其包括：确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于IDC公司，未经IDC公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580031982.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：垃圾处理机的清洗方法
- 下一篇：发动机的振动消除装置以及冲程特性可变发动机
