[发明专利]测试密封的微机电系统装置中的湿度的系统和方法

权利要求书

1.一种测试湿度的方法，其包括：

确定封围多个干涉式调制器的装置的性质；和

至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述装置的性质包含以下中的一者：i)所述装置的重量，ii)封围在所述装置中的干燥剂的变色，iii)所述装置内的电阻，iv)所述装置的由设定在某一温度的指形冷冻器装置接触的内部区域中是否形成霜，和v)当将水蒸气提供到所述装置中时封围在所述装置中的干燥剂是否适当地起作用。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述装置的性质包含i)-iv)中至少两者的组合。

4.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括在确定所述性质之前将所述装置暴露于潮湿环境。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述潮湿环境包含湿度腔。

6.根据权利要求1所述的方法，其中考虑以下参数中的至少一者来确定所述装置内的所述相对湿度值或所述相对湿度的程度：i)温度-湿度组合，ii)密封件的厚度和宽度，iii)粘合剂渗透性，iv)干燥剂容量，和v)装置大小。

7.一种用于测试湿度的系统，其包括：

用于向装置提供潮湿环境的构件，所述装置封围多个干涉式调制器；和

用于确定所述装置的性质的构件，其中至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述提供构件包含湿度腔。

9.根据权利要求7或8所述的系统，其中所述确定构件包含以下中的至少一者：i)秤，其经配置以测量所述装置的重量，ii)第一干燥剂，其封围在所述装置中且经配置以基于其中吸收的水蒸气的量而改变其颜色，iii)电阻传感器，其经配置以测量所述装置的至少一个内部部分的电阻，iv)指形冷冻器装置，其经配置以与所述装置的外部区域形成可操作接触，和v)第二干燥剂，其封围在所述装置中且经配置以吸收水蒸气而不会改变其颜色。

10.根据权利要求7所述的系统，其中所述装置的性质包含以下中的一者：i)所述装置的重量，ii)封围在所述装置中的干燥剂的变色，iii)所述装置内的电阻，iv)所述装置的由设定在某一温度的指形冷冻器装置接触的内部区域中是否形成霜，和v)当将水蒸气提供到所述装置中时封围在所述装置中的干燥剂是否适当地起作用。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述装置的性质包含i)-iv)中至少两者的组合。

12.一种用于测试湿度的系统，其包括：

第一测试装置，其经配置以向目标装置提供潮湿环境，所述目标装置封围多个干涉式调制器；和

第二测试装置，其经配置以确定所述目标装置的性质，其中可至少部分基于所述确定的性质来确定所述目标装置内的相对湿度值或所述相对湿度的程度。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述目标装置包括：

处理器，其与所述多个干涉式调制器电连通，所述处理器经配置以处理图像数据；

和

存储器装置，其与所述处理器电连通。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述目标装置进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述多个干涉式调制器。

15.根据权利要求14所述的系统，其中所述目标装置进一步包括：

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

16.根据权利要求13所述的系统，其中所述目标装置进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器。

17.根据权利要求16所述的系统，其中所述图像源模块包括接收器、收发器和发送器中的至少一者。

18.根据权利要求13所述的系统，其中所述目标装置进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据并将所述输入数据传送到所述处理器。