[发明专利]挠性纳米压印模板无效
| 申请号： | 200580030076.8 | 申请日： | 2005-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN101036086A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 特奥多尔·尼尔森;安诺斯·克里斯滕森;奥勒·汉森 | 申请（专利权）人： | 尼尔技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在毫米级结构上进行纳米级压印的纳米压印模板(1)，模板包括基体部件及第一和第二压印部分(2、3)，第一和第二压印部分具有待压印于接收衬底上的光刻图案(7)。在第一方面中，第一和第二压印部分(2、3)可在基本上平行于压印模板的压印方向的方向上独立地移动。在第二方面中，第一和第二压印部分(2、3)在基本上平行于压印模板的压印方向的方向上以机械方式弱接合。模板通过将模板的弯曲局限于压印部分(2、3)之间的基体部件(5)上来限制待压印光刻图案的衬底中或衬底上的缺陷和/或模板中或模板上的缺陷以及此类缺陷的任一组合的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模板 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印模板，包括：基体部件及第一和第二压印部分，第一和第二压印部分可在基本上平行于压印模板的压印方向的方向上独立地移动。
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