[发明专利]挠性纳米压印模板无效
| 申请号： | 200580030076.8 | 申请日： | 2005-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN101036086A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 特奥多尔·尼尔森;安诺斯·克里斯滕森;奥勒·汉森 | 申请（专利权）人： | 尼尔技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模板 | ||
【权利要求书】：
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