[发明专利]可展现较均匀沉积及降低旋转不对称性的多轨道磁控管

摘要

一种多轨道磁控管，具有一回旋形状且不对称于它所围绕旋转的标靶中心(14)。一等离子体轨道(166)被形成为一介于相反的内磁极(162)与外磁极(164)之间的闭环，最好是被形成为两圈或者三圈径向分布并呈螺旋形状相对于该靶材中心的反方向延伸的轨道，且最好通过该旋转轴。磁极形状可被最优化以产生一遵守L＝arⁿ函数的累积轨道长度分布。在使用计算机最优化的多次迭代之后，该磁极形状可用在制造好的极靴中的不同的磁铁分布来测试溅射均匀性，如果该均匀性仍然不满足要求的话，用不同的n值，不同的轨道数，或不同的磁极宽度来重复设计迭代。该最优化减小了方位角侧壁的不对称性，并改善了径向沉积均匀性。

主权项

1、一种磁控管，设置成绕一中心轴旋转，该磁控管至少包含：一第一磁极性的外磁极；一第二磁极性的内磁极，该第二磁极性与该第一磁极性相反，且该内磁极是设置在该外磁极的内部；以及一宽度大致固定的间隙，该间隙将该内磁极和该外磁极分隔开来，其中该磁极设置成该间隙可形成一相对于该中心轴的不对称的闭合轨道；其中从该中心轴发射出去的在至少180°的角度范围内的半径会与该轨道相交至少两次。