[发明专利]可展现较均匀沉积及降低旋转不对称性的多轨道磁控管有效
| 申请号： | 200580013582.6 | 申请日： | 2005-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1997768A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 宏·S·杨;则敬·龚;雷建新;铁·郭 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 展现 均匀 沉积 降低 旋转 对称性 轨道 磁控管 | ||
【说明书】：
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