[发明专利]光掩模和传递光掩模基片相关信息的方法无效
| 申请号： | 200580004892.1 | 申请日： | 2005-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1917982A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | L·E·弗里萨;F·D·卡尔克 | 申请（专利权）人： | 凸版光掩模公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘华联 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种传递光掩模基片信息的方法。该方法包括用激光加热光掩模基片的顶表面和底表面之间区域，施加到基片该区域的热量在基片内形成标识，储存有识别光掩模基片的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 传递 光掩模基片 相关 信息 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传递光掩模基片信息的方法，包括：用激光加热光掩模基片的顶表面和底表面之间区域；和施加到光掩模基片该区域的热量在光掩模基片内形成标识，所述标识可操作地储存识别光掩模基片的信息。
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