[发明专利]光掩模和传递光掩模基片相关信息的方法无效
| 申请号： | 200580004892.1 | 申请日： | 2005-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1917982A | 公开（公告）日： | 2007-02-21 |
| 发明（设计）人： | L·E·弗里萨;F·D·卡尔克 | 申请（专利权）人： | 凸版光掩模公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘华联 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 光掩模 传递 光掩模基片 相关 信息 方法 | ||
【说明书】：
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