[实用新型]离子源送气流量控制系统无效
| 申请号： | 200520142514.7 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2867417Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00;G05D7/06;G05B11/42;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子源送气流量控制系统，包括主控制器、模拟量控制电路、信号放大电路、信号比较器、信号驱动电路、压电陶瓷阀、流量计。其中主控制器与模拟量输出电路相连，发送设置气流量命令；模拟量输出电路的输出信号发送给信号比较器；信号放大电路对流量计的返回电压进行放大，得到一个用于比较的电压信号；信号比较器的输入信号为模拟量控制电路和信号放大电路的输出，其输出信号给信号驱动电路；信号驱动电路输出一个稳定的电压信号给压电陶瓷阀门；压电陶瓷阀控制气流量；流量计检测气流量，把输出电压信号发送给信号放大电路。本实用新型利用闭环控制原理，通过硬件调节使送气量自动趋于稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 送气 流量 控制系统 | ||
【主权项】：
1、一种离子源送气流量控制系统包括主控制器(1)、模拟量控制电路(2)、信号放大电路(7)、信号比较器(3)、压电陶瓷阀(5)、流量计(6)，其特征在于：还包括信号驱动电路(4)，其中主控制器(1)与模拟量输出电路(2)相连，模拟量输出电路(2)与信号比较器(3)相连，信号比较器(3)的两个输入分别为模拟量控制电路(2)和信号放大电路(7)的输出，信号比较器(3)的输出接信号驱动电路(4)，信号驱动电路(4)的输出接压电陶瓷阀(5)，用于检测气流量的流量计(6)把输出电压信号发送给信号放大电路(7)。
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