[实用新型]离子源送气流量控制系统无效
| 申请号： | 200520142514.7 | 申请日： | 2005-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN2867417Y | 公开（公告）日： | 2007-02-07 |
| 发明（设计）人： | 唐景庭;伍三忠;郭健辉;彭立波;王迪平;孙勇;许波涛;易文杰;姚志丹;孙雪平;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00;G05D7/06;G05B11/42;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100036北京市海淀区复兴路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 送气 流量 控制系统 | ||
【说明书】：
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