[实用新型]一种用于电化学机械抛光的抛光部件无效
| 申请号： | 200520103675.5 | 申请日： | 2003-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN200970715Y | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | P·D·巴特菲尔德;L-Y·陈;Y·胡;A·P·曼那斯;R·马伍利乌;S·D·蔡;F·Q·刘;R·威登斯维勒 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于电化学机械抛光的抛光部件，其具有一个球体组件。所述球体组件具有一个外壳；设置在所述外壳中的多个导电球体，每个所述球体都可在第一位置和至少一个第二位置之间移动，所述第一位置具有在所述外壳的表面上方的所述球体的一部分，所述第二位置与所述外壳的所述表面齐平；和设置在所述外壳中的多个导电接触元件，其与所述导电球体电耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电化学 机械抛光 抛光 部件 | ||
【主权项】：
1.一种用于电化学机械抛光的抛光部件，其具有一个球体组件(2200)，所述抛光部件的特征在于所述球体组件具有：一个外壳(2302)；设置在所述外壳中的多个导电球体(1906)，每个所述球体都可在第一位置和至少一个第二位置之间移动，所述第一位置具有在所述外壳的表面上方延伸的所述球体的一部分，所述第二位置与所述外壳的所述表面齐平；和设置在所述外壳中的多个导电接触元件(1914)，其与所述导电球体电耦合。
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