[实用新型]一种用于电化学机械抛光的抛光部件

权利要求书

1.一种用于电化学机械抛光的抛光部件，其具有一个球体组件(2200)，所述抛光部件的特征在于所述球体组件具有：

一个外壳(2302)；

设置在所述外壳中的多个导电球体(1906)，每个所述球体都可在第一位置和至少一个第二位置之间移动，所述第一位置具有在所述外壳的表面上方延伸的所述球体的一部分，所述第二位置与所述外壳的所述表面齐平；和

设置在所述外壳中的多个导电接触元件(1914)，其与所述导电球体电耦合。

2.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述外壳的上部分(2304)由绝缘材料制成。

3.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述外壳的设置在所述上部分相反方向的下部分(2306)由导电材料制成。

4.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述外壳进一步包括：

贯穿所述外壳形成的多个孔(2402)，至少一个孔中放置有所述球体中的一个；和

一个环形座(2404)，其延伸进所述孔中，并将所述球体保持在其中。

5.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述导电接触元件中的至少一个进一步包括：

一个环形基座(1942)；和

多个弯曲部(1944)，其从所述环形基座延伸，并与所述球体中的一个接触。

6.根据权利要求5所述的抛光部件，其特征在于所述抛光部件进一步包括：

一个将所述基座耦合于所述外壳的夹具衬套(1916)。

7.根据权利要求6所述的抛光部件，其特征在于所述夹具衬套进一步包括：

一个扩口头部(1924)；和

一个螺纹柱(1922)，其从所述扩口头部延伸，并穿过所述接触元件的所述基座，所述柱与所述夹具衬套的螺纹部分(1940)相啮合。

8.根据权利要求6所述的抛光部件，其特征在于所述夹具衬套进一步包括：

一个沿其轴向贯穿形成的通道(1936)。

9.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述球体中的至少一个具有由软导电材料构成的外表面。

10.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述球体中的至少一个具有软弹性芯。

11.根据权利要求10所述的抛光部件，其特征在于所述芯至少部分包括选自由弹性有机聚合物、乙烯-丙烯-二烯、聚烯烃、聚炔烃、聚酯、聚芳香烯烃/炔烃、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚氨基甲酸酯、无机聚合物、硅氧烷、多晶硅和聚硅烷组成的组中的至少一种材料。

12.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述球体由导电聚合物组成。

13.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述球体是空心的。

14.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述球体具有金或铜中的至少一种外表。

15.根据权利要求1所述的抛光部件，其特征在于所述抛光部件进一步包括：

一个使所述外壳耦合于其上的压板；和

抛光层(2466)，其设置在所述压板上，并且贯穿其中设置所述外壳。