[实用新型]一种真空电弧喷镀装置

摘要

本实用新型提供一种真空电弧喷镀装置，包括真空电弧炉、整流器、真空系统和控制系统，真空电弧炉由炉体和炉盖构成，炉体和炉盖形成真空室，炉体里设有阴极、阳极、引火锤，和工件夹具，阴极位于真空室的中央，阳极位于阴极周围，引火锤位于阴极旁，工件夹具位于阴极和阳极之间，其特征在于：所述控制系统采用可编程控制器，接点PB1连接真空系统电源和整流器电源接点S5连接阴极线圈，接点S7连接工件夹具偏压电源，接点连接整流器，接点S10连接引弧锤电源，接点PB2连接真空系统电源和整流器电源，接点S11连接炉盖上升线圈。该装置的优点在于：具有工作状态显示、故障显示和报警装置，简化控制方式，提高运行可靠性，使用和操作方便。

主权项

1、一种真空电弧喷镀装置，主要包括真空电弧炉(1)、整流器(2)、真空系统(3)和控制系统(4)，真空电弧炉(1)由炉体(11)和炉盖(12)构成，炉体(11)和炉盖(12)形成真空室，炉体(11)里设有阴极(13)、阳极(14)、引火锤(15)和工件夹具(16)，阴极(13)位于真空室的中央，阳极(14)位于阴极(13)周围，引火锤(15)位于阴极(13)旁，工件夹具(16)位于阴极(13)和阳极(14)之间，其特征在于：所述控制系统(4)采用可编程控制器，1)其常开接点PB1连接真空系统(3)电源和整流器(2)电源，2)常开接点S5连接阴极(13)线圈，3)常开接点S7连接工件夹具(16)偏压电源，4)常开接点S9连接整流器(2)，5)常开接点S10连接引弧锤(15)电源，6)常闭接点PB2连接真空系统(3)电源和整流器(2)电源，7)常开接点S11连接炉盖(12)上升线圈。