[实用新型]一种化学机械法金刚石膜抛光装置无效
| 申请号： | 200520056771.9 | 申请日： | 2005-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN2822875Y | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;陈冲;秦哲;张凤林 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510090广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械法金刚石膜抛光装置，该装置包括电机(2)、传动组件(1)、相互配合并可以连接传动的套筒套轴组件(8)以及它们之间的可以进行压缩的弹簧(9)、金刚石膜装夹组件(14)、抛光底盘(6)、绝缘隔热材料(7)、温控器(10)、温度热电偶(13)、继电器(12)、加热器件(5)及可升降工作台(15)；该装置可以对抛光的压力，转速，温度等参数进行调节，在不同条件下对金刚石膜进行抛光，装置可以实现金刚石膜的一次性精密抛光，最后的粗糙度和平整度都比较好。本装置结构简单，占地空间小，可以一次性进行精密级抛光，抛光精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 金刚石 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械法金刚石膜抛光装置，其特征在于包括电机(2)、传动组件(1)、相互配合并可以连接传动的套筒套轴组件(8)以及它们之间的可以进行压缩的弹簧(9)、金刚石膜装夹组件(14)、抛光底盘(6)、绝缘隔热材料(7)、温控器(10)、温度热电偶(13)、继电器(12)、加热器件(5)及可升降工作台(15)；上述电机(2)及其传动组件(1)与套筒套轴组件(8)的上端相连接，金刚石膜装夹组件(14)与套筒套轴组件(8)的下端相连接，抛光底盘(6)与可升降工作台(15)之间隔有绝缘隔热材料(7)，抛光底盘(6)中还装有加热器件(5)，加热器件(5)通过导线(16)与温控器(10)、继电器(12)及温度热电偶(13)相连接。
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