[发明专利]光刻胶组合物无效
| 申请号： | 200510128706.7 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1837957A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅伦;S·J·姜;J·W·成 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了化学增幅型正性光刻胶组合物，它包含具有缩醛和脂环基的添加剂。本发明优选的光刻胶包括含具有一个或多个光酸不稳定部分的聚合物的树脂组分、一种或多种光酸生成化合物以及包含一种或多种脂环基例如金刚烷基的添加剂等。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，它包括：i)包括一种或多种聚合物的树脂组分，所述聚合物含有光酸不稳定基团；ii)一种或多种光酸生成化合物；iii)一种或多种非聚合化合物，它含有一个或多个光酸不稳定缩醛基团和一个或多个脂环基团。
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