[发明专利]光刻胶组合物无效
| 申请号： | 200510128706.7 | 申请日： | 2005-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1837957A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅伦;S·J·姜;J·W·成 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【说明书】：
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