[发明专利]超高纯度惰性气体纯化装置及纯化方法无效
| 申请号： | 200510110582.X | 申请日： | 2005-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1970133A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01J8/02;C01B21/04;C01B23/00 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 201108上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种超高纯度惰性气体纯化装置及其纯化方法。所述超高纯度惰性气体纯化装置包括一个分别具有独立腔体的进气端和出气端的金属罐，二独立腔体的隔离板为孔隙尺寸在0.003到100微米间的多孔材料。所述进气端部腔体与出气端部腔体的体积比在1∶9到9∶1之间。在进气端部腔体中填充锰基催化剂材料，在出气端部腔体中填充选自铁，锆，钒，钛等合金吸气剂材料的一种或一种以上的材料。对所述气体纯化装置顺序进行加热激活、常温(0－50℃)下的惰性气体的催化剂纯化和吸气剂纯化，由此，使用简单、小型的气体纯化装置，即可去除惰性气体中的氧、氢、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质至1ppb(体积比)或其以下。本发明的超高纯度气体纯化装置及其纯化方法使用时不必加热，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 纯度 惰性气体 纯化 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超高纯度惰性气体纯化装置，所述超高纯度惰性气体纯化装置包括一个具有进气端和出气端的金属罐，其特征在于，位于金属罐中部的一个隔离板将该金属罐分隔成进气端部和出气端部两个独立的腔体，所述进气端部腔体与出气端部腔体的体积比在1∶9到9∶1之间，所述隔离板是由粉末冶金或其它方法制成的金属多孔材料，所述金属多孔材料的孔隙尺寸在0.003到100微米之间，在进气端部腔体中填充几何尺寸为1到10毫米的锰基催化剂材料，其中氧化锰的重量百分比为60-90％，在出气端部腔体中填充选自铁，锆，钒，钛等合金吸气剂材料的一种或一种以上，所述吸气剂材料的几何尺寸为1到10毫米。
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