[发明专利]超高纯度惰性气体纯化装置及纯化方法无效
| 申请号： | 200510110582.X | 申请日： | 2005-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1970133A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 先普半导体技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01J8/02;C01B21/04;C01B23/00 |
| 代理公司： | 上海三和万国知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 201108上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超高 纯度 惰性气体 纯化 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先普半导体技术（上海）有限公司，未经先普半导体技术（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510110582.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
