[发明专利]利用熔丝测试栅极氧化物的方法与装置有效
| 申请号： | 200510110070.3 | 申请日： | 2005-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1959403A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 龚斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/92 | 分类号： | G01N27/92;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测试电介质层的装置与方法。该装置包括第一导电板和第二导电板。第一导电板和第二导电板直接与电介质层接触。此外，该装置包括第一导电导线和第二导电导线，第一导电导线连接到第一导电板并被偏置到第一预定电压，第二导电导线连接到第二导电板和电压检测器。而且，该装置包括熔丝和第三导电导线，熔丝连接到第二导电导线，第三导电导线连接到熔丝和能提供第二预定电压并能测量电流的器件。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 测试 栅极 氧化物 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试电介质层的装置，所述装置包括：第一导电板；第二导电板；第一导电板和第二导电板直接与电介质层接触；第一导电导线，第一导电导线连接到第一导电板并被偏置到第一预定电压；第二导电导线，第二导电导线连接到第二导电板和电压检测器；连接到第二导电导线的熔丝；第三导电导线，第三导电导线连接到所述熔丝和能提供第二预定电压并能测量电流的器件；其中：如果流经所述熔丝的第一电流达到或超过第一电流阈值，则所述熔丝会断开，如果流经第三导电导线的第二电流达到或超过第二电流阈值，则第三导电导线会断开；第一电流阈值的大小小于第二电流阈值。
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