[发明专利]利用熔丝测试栅极氧化物的方法与装置有效
| 申请号： | 200510110070.3 | 申请日： | 2005-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1959403A | 公开（公告）日： | 2007-05-09 |
| 发明（设计）人： | 龚斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/92 | 分类号： | G01N27/92;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 测试 栅极 氧化物 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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