[发明专利]在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置

摘要

本发明针对目前急需解决了球面衬底的CVD金刚石沉积成形问题，提出了一种在球面衬底上制造金刚石涂层的方法及其装置，通过均匀表面温度场，在球面衬底表面均匀制备CVD金刚石涂层，通过在工作台的下方安装一个由特种陶瓷制成的锥形辊，锥形辊带动球面衬底旋转，使得球面衬底表面温度处于稳定状态，通过沉积纳米尺寸颗粒组成的CVD金刚石涂层来降低涂层表面粗糙度，提高涂层韧性。本发明保证了球面衬底表面沉积CVD金刚石膜时温度场均匀、稳定，使得CVD金刚石膜的成核和生长能够均匀、稳定地进行，沉积的纳米CVD金刚石涂层的表面粗糙度很低，涂层不需要进一步加工就可以直接使用。

主权项

1、一种在球面衬底上制造金刚石涂层的方法，其特征是包括以下步骤：(1)将球面衬底呈多列均匀排放在衬底工作台上，在工作台的下方安装一个带动球面衬底旋转的锥形辊，使得球面衬底表面温度处于动态的稳定状态；(2)在工作台的上方、水冷进气室的下方、沿球面衬底列的方向直线排列若干根加热灯丝，使得加热灯丝对球面衬底的表面辐射均匀；(3)向真空室内通入反应气体，并使所述的锥形辊动作，即可在球面衬底表面通过化学气相沉积形成均匀的金刚石涂层。