[发明专利]带电粒子束装置探针操作无效
| 申请号： | 200510078348.3 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1696652A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·鲍尔;罗伯特·J.·弗勒瑞恩;亚当·哈特曼;飞利浦·C.·福斯特;杰伊·C.·纳尔逊;理查德·E.·斯托卡普二世 | 申请（专利权）人： | 塞威公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;H01J37/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 连通到带电粒子束装置(CPBD)的隔室上的定位器控制装置，其设定成使探针和隔室中的样品上的接触点。接触连通到CPBD的测量器和定位器可以支持样品性质的测量/检测。一种控制线路可以至少部分自动控制CPBD，定位器，以及测量器。一个或多个如此的部件支持的方法包括：把第一信号导向定位于隔室内的探针，在那至少一个探针被暴露于CPBD的光束中；把第二信号和第一信号作对比来决定样品性质；和加热至少一个邻近定位的探针尖，以至于随着加热除去部分材料，探针尖变得尖锐。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 探针 操作 | ||
【主权项】：
1、一种装置，包括：定位器控制装置，被构造成用于控制测试下装置(DUT)和在带电粒子束装置(CPBD)的隔室内的探针中的至少一个的定位，包括通过下列至少一个的至少部分自动操作进行定位控制：用于检查CPBD隔室内DUT的CPBD隔室内DUT的取向；用于检查探针和DUT其中至少之一的CPBD隔室内探针的取向；和探针与DUT的相对取向，用于在CPBD隔室内建立探针与DUT之间的接触。
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