[发明专利]带电粒子束装置探针操作无效
| 申请号： | 200510078348.3 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1696652A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·鲍尔;罗伯特·J.·弗勒瑞恩;亚当·哈特曼;飞利浦·C.·福斯特;杰伊·C.·纳尔逊;理查德·E.·斯托卡普二世 | 申请（专利权）人： | 塞威公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;H01J37/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 探针 操作 | ||
【说明书】：
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