[发明专利]电容性动态量传感器和半导体器件有效
| 申请号： | 200510074178.1 | 申请日： | 2005-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1721860A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 枪田光男;须藤稔;加藤健二 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种体积小、可靠性和大量生产能力高的电容性动态量传感器。为了实现从下面电极向上面电极的信号传输，形成硅柱以连接两个电极，这些硅柱相互电绝缘，但是没有机械隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 动态 传感器 半导体器件 | ||
【主权项】：
1、电容性动态量传感器，包括：其上形成第一电极的第一绝缘体；其上形成第二电极的第二绝缘体；和其中形成重块的半导体，所述重块因动态量而移位，第一绝缘体、半导体和第二绝缘体被层叠，基于在重块和第一电极之中电容值的变化来测量动态量的电容性动态量传感器，所述电容值的变化是由重块的移位而引起的，其中：在半导体中形成柱，使得第一电极电连接第二电极；该柱由上面导电部分、中间绝缘部分和下面导电部分组成；电连接装置设置在柱的上面部分，该电连接装置连接上面导电部分和下面导电部分；该柱的上面部分与其它柱没有机械隔离；和该电连接装置设置在柱的上面部分，与其它设置在其它柱的上面部分的电连接装置电绝缘。
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