[发明专利]电容性动态量传感器和半导体器件有效
| 申请号： | 200510074178.1 | 申请日： | 2005-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1721860A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 枪田光男;须藤稔;加藤健二 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;H01L49/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 动态 传感器 半导体器件 | ||
【说明书】：
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