[发明专利]真空器件、其制造方法以及吸气装置无效
| 申请号： | 200510035140.3 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1873891A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;唐洁;杜秉初;郭彩林;胡昭复;陈丕瑾;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/94 | 分类号： | H01J29/94;H01J7/18;H01J9/39 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空器件，其包括一壁板及与其连接的一设有非蒸散型吸气剂的吸气装置。其中，该非蒸散型吸气剂为长条形固体，该吸气装置设置于该壁板朝向该真空器件内部的表面。本发明的吸气装置结构简单，体积小，节约了生产成本。而且，由于吸气通道更为合理、充分，能有效维持真空器件内的真空度。本发明还提供有该真空器件的制造方法及其吸气装置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 器件 制造 方法 以及 吸气 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空器件，包括一壁板及与其连接的一个设有非蒸散型吸气剂的吸气装置，其特征在于，该非蒸散型吸气剂为长条形固体，该吸气装置设置于该壁板朝向该真空器件内部的表面。
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