[发明专利]真空器件、其制造方法以及吸气装置无效
| 申请号： | 200510035140.3 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1873891A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;唐洁;杜秉初;郭彩林;胡昭复;陈丕瑾;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/94 | 分类号： | H01J29/94;H01J7/18;H01J9/39 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 器件 制造 方法 以及 吸气 装置 | ||
【说明书】：
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