[发明专利]电容式微机电结构声音传感器有效
| 申请号： | 200510035114.0 | 申请日： | 2005-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1874616A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 潘政民;王云龙;孟珍奎 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R7/14 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 朱巍 |
| 地址： | 518000广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容式微机电结构声音传感器，包括：一基板；通过支撑端固定在所述基板上的带有数个声孔的背极板；悬挂在所述基板上的振膜；悬挂的振膜边缘被固定在所述基板的一个或多个位置上，所述背极板和振膜之间形成气隙，振膜上覆设有电极，振膜与背极板电极之间形成电容；所述振膜为浅波纹振膜，所述背极板电极设置于背极板的正面或反面。本发明的电容式微机电结构声音传感器具有宽带宽和高灵敏度等特点，不仅性能稳定可靠，而且能有效抑制300Hz以下低频波段的起伏噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 式微 机电 结构 声音 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式微机电结构声音传感器，包括：一基板；通过支撑端固定在所述基板上的带有数个声孔的背极板；悬挂在所述基板上的振膜；所述背极板和振膜之间形成气隙，振膜上覆设有电极，振膜与背极板电极之间形成电容；其特征在于：所述振膜为浅波纹振膜，所述背极板电极设置于背极板的正面或反面，悬挂的振膜边缘被固定在所述基板的一个位置上。
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