[发明专利]电容式微机电结构声音传感器有效
申请号: | 200510035114.0 | 申请日: | 2005-06-03 |
公开(公告)号: | CN1874616A | 公开(公告)日: | 2006-12-06 |
发明(设计)人: | 潘政民;王云龙;孟珍奎 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/00 | 分类号: | H04R19/00;H04R7/14 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人: | 朱巍 |
地址: | 518000广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电容 式微 机电 结构 声音 传感器 | ||
【权利要求书】:
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