[发明专利]悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器有效
| 申请号： | 200510030947.8 | 申请日： | 2005-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1786718A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 杨恒;庞洁;李昕欣;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路；(2)所述的悬臂梁－质量块结构在X－Y平面内绕锚点运动；(3)质量块与敏感电极接触为状态A，质量块不与敏感电极接触为状态B。状态A与B可以用数字电路中的0和1(或者1和0)表示；本发明提供的是一种纯数字式传感器，接口电路易于制又可实现超微小型化而灵敏度和非线性与传流电容或传感器相当。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 质量 结构 时间 数字 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1、悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁-质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路。
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