[发明专利]悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器有效
| 申请号： | 200510030947.8 | 申请日： | 2005-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN1786718A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 杨恒;庞洁;李昕欣;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 质量 结构 时间 数字 加速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
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