[发明专利]LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法无效
| 申请号： | 200510014977.X | 申请日： | 2005-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1731676A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨保和;陈希明;熊瑛;徐晟;孙大智;李明 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 廖晓荣 |
| 地址： | 300191*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法。所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO3薄膜之间有高C－轴择优取向的纳米ZnO中间层。这种LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件的制备方法，是在CVD金刚石膜表面溅射高C－轴择优取向的纳米ZnO薄膜，而后在纳米ZnO薄膜表面溅射高C－轴择优取向的LiNbO3薄膜。本发明的有益效果是：采用高C－轴择优取向的纳米ZnO作为CVD金刚石和LiNbO3薄膜之间的中间层，可得到平整光滑、结晶度好的高C－轴择优取向的优质LiNbO3纳米膜。该薄膜结构可满足高频、高机电耦合系数、大功率声表面波(SAW)器件等领域的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | linbo sub zno 金刚石 多层 膜结构 表面波 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件，其特征在于所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO3薄膜之间有高C-轴择优取向的纳米ZnO中间层。
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