[发明专利]一种多模式原子力探针扫描系统

摘要

一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样品的受伺服控制单元驱动的扫描台、微调机构、设在所述微调机构之上的压电双晶片，以及末端固定在压电双晶片上、探测端对应样品设置的微悬臂探针；所述微悬臂探针背面处于所述光学测量单元的光探针会聚点处，并与光探针轴线相垂直；所述压电双晶片由伺服控制单元控制，驱动微悬臂探针以接触式、非接触式或轻敲式三种模式之一进行探测。本发明可以实现大视场、纳米尺度超精表面缺陷检测。

主权项

1.一种多模式原子力探针扫描系统，其特征在于：所述系统包括光学测量单元(100)、扫描探测单元(200)和伺服控制单元(300)三个部分，所述扫描探测单元(200)包括承载样品的受伺服控制单元(300)驱动的扫描台(24)、微调机构(23)、设在所述微调机构(23)之上的压电双晶片(22)，以及末端固定在压电双晶片(22)上、探测端对应样品设置的微悬臂探针(21)；所述微悬臂探针(21)背面处于所述光学测量单元(100)的光探针会聚点处，并与光探针轴线相垂直；所述压电双晶片(22)由伺服控制单元(300)控制，驱动微悬臂探针(21)以接触式、非接触式或轻敲式三种模式之一进行探测。