[发明专利]一种多模式原子力探针扫描系统无效
| 申请号: | 200510011612.1 | 申请日: | 2005-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN1670505A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
| 发明(设计)人: | 李玉和;王东生;李庆祥;葛杨翔 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | G01N13/16 | 分类号: | G01N13/16 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100084北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 模式 原子 探针 扫描 系统 | ||
【权利要求书】:
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