[发明专利]半导体晶片收纳容器内空气净化装置

摘要

本发明公开了一种将半导体晶片收纳容器内的空气净化的半导体晶片收纳容器内空气净化装置。该空气净化装置是这样工作的：从半导体晶片收纳容器(51)的底板(60)上设的一个呼吸口(58a)排出的、半导体晶片收纳容器(51)内的空气，被吸入备有鼓风机驱动部(1)、除尘用过滤部(2)以及除去水分和化学气体用过滤部(3)的空气净化装置(M)内，通过该空气净化装置(M)除去水分、化学气体和尘埃后的洁净空气(63)，被强行从另一个呼吸口(58b)送入半导体晶片收纳容器(51)，使半导体晶片收纳容器(51)中空气的不断循环净化，从而使半导体晶片收纳容器(51)内保持了洁净状态。

主权项

1.一种半导体晶片收纳容器内空气净化装置，其特征在于，该半导体晶片收纳容器内空气净化装置包括空气净化装置和装载在该空气净化装置上的半导体晶片收纳容器；其中，所述的空气净化装置是在其外壳内分别设置有备有鼓风机和鼓风机驱动装置的鼓风机驱动部、备有除尘用过滤器的除尘用过滤部、除去水分和化学气体用过滤部，而且所述外壳的上表面上设置有突出的吸气嘴和供气嘴；所述的半导体晶片收纳容器的底板上设有多个呼吸口，且装载在所述空气净化装置上；所述空气净化装置的上表面的吸气嘴和供气嘴，分别与所述半导体晶片收纳容器底板上的两个呼吸口连接，并通过所述空气净化装置的工作，使从所述半导体晶片收纳容器的一个呼吸口排出的空气，由所述吸气嘴吸入所述的空气净化装置内，成为除去了水分、化学气体和尘埃的洁净空气后，再从所述半导体晶片收纳容器的另一个呼吸口送入该半导体晶片收纳容器内；随着该半导体晶片收纳容器内的空气循环，使该半导体晶片收纳容器内保持洁净状态。