[发明专利]半导体晶片收纳容器内空气净化装置无效
| 申请号： | 200510009205.7 | 申请日： | 2005-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1707179A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 木崎原稔郎;冈田诚;堀部泰德 | 申请（专利权）人： | 近藤工业株式会社;日本剑桥过滤器株式会社 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人： | 戴建波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 晶片 收纳 容器 空气净化 装置 | ||
【说明书】：
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